日立熱場式場發射掃描電鏡SU5000規格：

項目		內容
分辨率		1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率		10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學系統	電子槍	ZrO /W 肖特基式電子槍
	加速電壓	0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進)
	著陸電壓	減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
	大束流	> 200 nA
探測器		低位二次電子探測器
低真空模式*2		真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達臺	馬達臺控制	5 - 軸自動 (優中心)
	可動范圍	X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°
	大樣品尺寸	大直徑: 200 mm 大高度: 80 mm
選配探測器		高分辨率頂位二次電子探測器＊1 高靈敏度低真空探測器 (UVD) 5分割半導體探測器 (PD-BSD)*3 能譜儀 (EDS) 波譜儀 (WDS) 背散射電子衍射探測器 (EBSD)

*1：減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測器）

*2：低真空功能（包含5分割半導體探測器）

*3：空壓機(本地采購)